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                      NSK中國(guó)官網(wǎng)Banner

                      精機(jī)產(chǎn)品?產(chǎn)業(yè)報(bào)告:直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的空氣滑動(dòng)清潔規(guī)格

                      特點(diǎn)

                      リニアモータ駆動(dòng)エアスライド
                      各類(lèi)產(chǎn)業(yè)機(jī)械為了實(shí)現(xiàn)大量生產(chǎn)、提高性能的目的,大容量化、小型輕量化(細(xì)微化)、高精度化、高速化以此為開(kāi)發(fā)目標(biāo)。特別在半導(dǎo)體制造設(shè)備中,隨半導(dǎo)體的發(fā)展對(duì)開(kāi)發(fā)速度也提出了要求。為了解決各類(lèi)問(wèn)題,逐漸開(kāi)發(fā)了滿(mǎn)足各自用途的引導(dǎo)裝置。甚至在半導(dǎo)體制造設(shè)備中,特別要求低發(fā)塵(潤(rùn)滑脂)、長(zhǎng)壽命(免維護(hù))這樣的性能。NSK將實(shí)現(xiàn)了高精度?清潔 ?免維護(hù)的非接觸式直驅(qū)滑動(dòng)進(jìn)行了商品化。

                      【用途】

                      • 半導(dǎo)體相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置(薄晶片、薄膜)
                      • 液晶相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置(彩色膠片、薄膜)
                      • 磁盤(pán)?光盤(pán)相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置
                      • 緊密細(xì)微加工機(jī)械
                      • 各類(lèi)檢測(cè)裝置

                      1. 使用DC無(wú)刷電機(jī)實(shí)現(xiàn)高運(yùn)動(dòng)精度

                      通過(guò)使用無(wú)齒槽DC無(wú)刷電機(jī)實(shí)現(xiàn)高運(yùn)動(dòng)精度。

                      リニアモータ駆動(dòng)エアスライド

                      2. 由于非接觸式引導(dǎo)速度的起伏很小

                      由于非接觸式引導(dǎo)的空氣滑塊使速度的起伏很小。

                      速度精度測(cè)定

                      3. 實(shí)現(xiàn)低發(fā)塵?免維護(hù)

                      采用空氣滑塊的非接觸式引導(dǎo)和無(wú)刷電機(jī),獲得完全非接觸式的運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了低發(fā)塵?免維護(hù)。

                      4. 結(jié)構(gòu)部件的精度壽命長(zhǎng)

                      結(jié)構(gòu)部件均采用全陶瓷,實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)精度壽命。

                      5. 采用混合軸承構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了輕量薄型

                      靜壓多孔質(zhì)的浮力與永磁體的吸引力之間取得平衡的混合軸承構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了輕量薄型化。