特點
各類產(chǎn)業(yè)機械為了實現(xiàn)大量生產(chǎn)、提高性能的目的，大容量化、小型輕量化（細微化）、高精度化、高速化以此為開發(fā)目標。特別在半導體制造設備中，隨半導體的發(fā)展對開發(fā)速度也提出了要求。為了解決各類問題，逐漸開發(fā)了滿足各自用途的引導裝置。甚至在半導體制造設備中，特別要求低發(fā)塵（潤滑脂）、長壽命（免維護）這樣的性能。NSK將實現(xiàn)了高精度?清潔 ?免維護的非接觸式直驅(qū)滑動進行了商品化。
【用途】
- 半導體相關的制造?檢測裝置（薄晶片、薄膜）
- 液晶相關的制造?檢測裝置（彩色膠片、薄膜）
- 磁盤?光盤相關的制造?檢測裝置
- 緊密細微加工機械
- 各類檢測裝置
1. 使用DC無刷電機實現(xiàn)高運動精度
通過使用無齒槽DC無刷電機實現(xiàn)高運動精度。
2. 由于非接觸式引導速度的起伏很小
由于非接觸式引導的空氣滑塊使速度的起伏很小。
3. 實現(xiàn)低發(fā)塵?免維護
采用空氣滑塊的非接觸式引導和無刷電機，獲得完全非接觸式的運動實現(xiàn)了低發(fā)塵?免維護。
4. 結(jié)構部件的精度壽命長
結(jié)構部件均采用全陶瓷，實現(xiàn)了長精度壽命。
5. 采用混合軸承構造實現(xiàn)了輕量薄型
靜壓多孔質(zhì)的浮力與永磁體的吸引力之間取得平衡的混合軸承構造實現(xiàn)了輕量薄型化。